基本参数：
1、压印面积：能够实现6″晶圆压印；

2、可实现100nm以下结构转移； 

3、全自动压印，压印模板和衬底间的压力由洁净干燥空气或氮气提供，压印压力可调；

4、触摸屏操作；可选电脑控制；

5、压印周期小于5min；

6、采用高压汞灯提供紫外光源； 

7、适用于软模板压印；

8、具有安全报警装置，并配备相关备品备件包；

9、可客户化定制热-紫外一体纳米压印设备。

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