1、压印面积：能够实现6″晶圆压印；

2、可实现50nm以下结构转移；

3、触摸屏操作；可选电脑控制； 

4、压印周期小于5min；

5、高温度250℃，2min内快速升温；

6、适用于软/硬模板压印；

7、具有安全报警装置，并配备相关备品备件包；

8、可客户化定制桌面式热-紫外一体纳米压印设备。

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