1、包含六套带加热台顶升机构及六套紫外曝光机构，各套可同时运行或单独运行；

2、可实现软模自动更换和晶圆的智能上下料与传送；

3、支持6英寸晶圆压印；

4、生产效率80-120片/小时；

5、可实现100nm结构转移；

6、压印模板和衬底间的压力由洁净干燥空气或氮气提供，压印压力可调；

7、触摸屏操作，可选电脑控制；

8、适用于软模板压印；

9、具有安全报警装置，并配备相关备品备件包。

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