规格：

类型：

纳米光栅模板

1、E-Beam高效制版；
2、面积范围：1cm2至10cm2；
3、尺寸分辨率：最小75nm；
4、最小样品周期： 150nm（可进行客户化结构定制）
5、可进行防粘附涂层处理；