纳米技术与微电子技术的主要区别是：纳米技术是以控制单个原子、电子来实现其特定的功能，是利用电子的波动性来工作的;而微电子技术则是通过控制成群的电子来实现其功能，是利用电子的粒子性来工作的。人们研究和开发纳米技术的目的，就是要达到纳米压印设备对单个原子和分子的自由操纵、进而实现对整个微观世界的有效控制。

　　纳米技术是一门交叉性很强的综合学科，研究的内容涉及现代科技的广阔领域。1993年，纳米科技指导委员会将纳米技术划分为6个分支学科：纳米电子学;纳米物理学;纳米化学;纳米生物学;纳米加工学和纳米计量学。其中，纳米物理学和纳米化学是纳米技术的基础理论。而纳米电子学士纳米技术重要的内容。专家认为，纳米技术的发展必然会引起新一轮的产业革命，首当其冲的便是以计算机为主的信息领域，接着便是材料和生命科学领域。

　　早在一个世纪以前，人们就知道了电子具有波粒二重性。人们利用电子的粒子性，已在微电子领域中取得辉煌的成果。从1958年世界上一块集成电路问世至今，微电子技术已走过小规模、中规模、大规模和大规模的集成时代，现已进入了大规模时代。预计21世纪初，将出现1千兆的特大规模集成电路，一个芯片即可容纳100亿个元件，加工线宽达到100纳米的水平。如今，微电子技术引发的新技术革命，正在改变着世界。

　　随着半导体器件功能的不断增强以及结构的日趋复杂，其体积也越来越小，现已小到极点。如果再小下去，现有的半导体就将趋近物理。也就是说，当蚀刻半导体上的线条宽度窄到0.1UM 以下后，现有的集成电路将因散热、隧道效应和电子学理论的限制等方面的原因，其晶体管不再具备原有功能;电路中穿行的将只是少数几个电子，而且会像任性的幽灵一样跳来跳去，增加一个或者减少一个都造成很大的差异。由此，单个原子和电子的行为成了紧要问题，纳米电子学也便应运而生。

　　纳米技术的问世，具有划时代的意义。当前，为研制量子器件而开展的对单个原子、单个电子的研究，已成为各国科学家关注的焦点。量子器件是种应用量子隧道穿透效应的原理、并采用纳米硅薄膜制作的电子器件。量子器件利用电子的波动性来实现其功能，其制作的关键是超微细加工技术，已经研制成功了突破微电子的新型量子器件——隧道三极管。它的尺寸只有传统器件的 1/100 , 功耗也只有传统器件的 1/ 1000 ，而运算速度却提高了1000倍。有报道称，TBM 公司也研制出了单电子晶体管，只要控制一个电子就可以完成特定的功能。从控制成群电子的晶体管发展到控制单个电子的晶体管，器件响应速度提高了 1000-10000倍，而功耗却降低到 1/ 1000-1 / 1000 ，其优越性显而易见。

　　由于量子器件是通过控制单个电子的运动实现其特定功能的，因此能实现1 千兆位或更多位的集成化，可以成千倍地提高工作速度、降低功率消耗。不久的将来，随着千兆位超 LST 集成电路的实用化，传统的半导体器件将逐步消失，并被纳米器件所取代。