1 引言由于经济原因促使半导体业朝着不断缩小特征尺寸方向发展，随之而来的技术进步导致了设备的成本以指数增长。由于成本的增长，人们对纳米压印光刻这一低成本图形转移技术的关注越来越多。通过避免使用昂贵的光源和投影光学系统，纳米压印光刻比传统光刻方法大大降低了成本。纳米压印光刻技术的研究始于普林斯顿大学纳米结构实验室Stephen Y.Chou教授，将一具有纳米图案的模...

纳米压印技术是目前纳米沟道加工的主要技术。传统的光刻技术主要是利用电子和光子改 变光刻胶的物理化学性质，进而得到相应的纳米图形。而纳米压印技术则可以在不使用电子和 光子的前提下，直接利用物理学机理机械地在光刻胶上构造纳米尺寸图形。正是由于这种机械 作用，使得纳米压印技术不再受到光子衍射和电子散射的限制，可大面积地制备纳米级图形。 同时，由于这项技术所用...

化学的使命在于创造或改良物质，而合成（synthesis）是必经之路。从中世纪的炼金术 开始，人们习惯于在玻璃器皿（烧瓶、烧杯）中操纵反应原料，获得产物，并基于此建立起 庞大的合成帝国。然而，面对人类对新物质、新规律的不断需求，传统玻璃器皿的劣势日渐 凸显：集成化、自动化程度低，资源浪费，选择性、重现性差，以及隐患等。在此背景 下，微流控传感器（microfluidic re...

我国虽然已成为世界半导体生产大国，但 面板产业整体产业链仍较为落后。 目前，上游电子化学品（LCD用光刻胶）几乎全部依赖进口，须加快面板产业关键核心材 料基础研究与产业化进程，才能支撑我国微电子产业未来发展及“地位”的确立。 彩色薄膜少了光刻胶，产生不了绚丽的画面 显示器是人与机器沟通的重要界面。光刻胶是整个光刻加工工艺的重要部分，也是技术门槛很高的微电子化...

光刻加工光刻胶材料有哪些？大家听多了光刻机、蚀刻机以及nm工艺这样的术语，对光刻胶还是十分陌生的。买回来的硅圆片经过检查无破损后即可投入生产线上，前期可能还有各种成膜工艺，然后就进入到涂抹光刻胶环节。微 影光刻工艺是一种图形影印技术，也是集成电路制造工艺中一项关键工艺。 首先将光刻胶（感光性树脂）滴在硅晶圆片上，通过高速旋转均匀涂抹成光刻胶薄膜，并施加...

光刻加工工艺的评价标准一个集成电路的制造过程（process flow）是由许多工艺单元（unit process）构成的， 每一个工艺单元的输出就是下一个工艺单元的输入。工艺单元之间的衔接和整合是由工艺集成 （process integrated，PI）部门负责的。光刻工艺的输出就是光刻胶上的图形。一般集成部门 对光刻胶上的图形有严格要求。，一般是在目标值的±(8-10)%之内。其次是套刻误差，光刻...