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量产型全自动六位纳米压印机

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量产型全自动六位纳米压印机

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  • 发布日期:2019/06/25
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基本参数:

1、包含六套带加热台顶升机构及六套紫外曝光机构,各套可同时运行或单独运行;
2、可实现软模自动更换和晶圆的智能上下料与传送;
3、支持6英寸晶圆压印;
4、生产效率80-120片/小时;
5、可实现100nm结构转移;
6、压印模板和衬底间的压力由洁净干燥空气或氮气提供,压印压力可调;
7、触摸屏操作,可选电脑控制;
8、适用于软模板压印;
9、具有安全报警装置,并配备相关备品备件包。

如需进一步了解产品信息,请与我司联系。


微纳结构

本文网址:http://www.micro-graph.com.cn/product/563.html

关键词:纳米压印机,纳米压印机厂家,纳米压印机哪家好

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