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纳米压印技术为什么又叫纳米光刻技术

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纳米压印技术为什么又叫纳米光刻技术

发布日期:2019-07-26 作者: 点击:

微纳米技术(MEMS,nano technology)为微机电系统(MEMS)技术和纳米科学技术(nano science and technology, nano ST)的简称,是20世纪80年代末在USA、日本等发达国兴起的高新科学技术。


由于其巨大的应用前景,因此自问世以来微纳米技术受到了各国政府和学者的普遍重视,是当前科技界的热门研究领域之一。微纳米技术的研究和发展必将对21世纪的航空、航天、军事、微纳结构紫外压印生命科学和健康保障、汽车工业、仿生机器人、家用电器等领域产生深远的影响 微机电系统技术主要涉及0.1μm(1μm=10-6m)到数毫米尺度范围内的传感器、微执行器和微系统的研究开发,它以单晶硅为基本材料,以光刻并行制造为主要加工特点,采用微电子工艺设备结合其他特殊工艺设备作为加工手段。


纳米尺度一般是指1~100nm(1nm=10 -9m),纳米科学是研究纳米尺度范畴内原子、分子和其他类型物质运动和变化的科学,而在同样尺度范围内对原子、分子等进行操纵和加工的技术则称为纳米技术,纳米尺度的机电系统则称作纳机电系统。可见二者之间既有联系又有区别,前者是后者的基础,而后者是前者的发展方向。

纳米压印技术

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关键词:纳米压印技术,光刻技术的原理,无锡纳米压印

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