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什么是微纳结构

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什么是微纳结构

发布日期:2019-11-26 作者: 点击:

微纳结构是指人为设计的、具有微米或纳米尺度特征尺寸、按照特定方式排布的功能结构。随着第三代光学成像技术向集成化、轻量化、超大口径发展,传统折反式光学系统面临着诸多瓶颈,而微纳结构光微纳结构紫外压印元件具有重量轻、设计自由度高、结构灵活等特点,在成像领域展现出显著优势。本文系统研究了平面衍射透镜和超表面两种微纳结构的成像原理、宽带调控机理、设计方法和成像实验,为下一代光学成像技术提供了全新的技术途径。主要研究工作包括:

  1)基于平面衍射透镜的轻量化成像原理方法研究,针对衍射透镜色散严重的问题,分析并建立了宽波段消色差模型;开展了基于平面衍射透镜的口径5米空间天文望远镜光学设计,采用离轴反射式结构避免了同轴系统的挡光效应,利用多重位相衍射原理实现了连续光谱成像带宽,带宽覆盖可见光和红外全部谱段;

  2)提出了两种基于超表面的宽带位相和偏振调控原理,利用超表面微纳结构解决方案色散调控实现了4倍频程宽带位相和偏振转换,通过超薄空间变化和频谱设计的自旋轨道作用,实现了电磁特征的虚拟位相整形;基于上述原理设计了透射和反射式光天线阵列超表面新型成像器件,实现了可见光光学漩涡聚焦和红外成像,其中反射式超表面能量利用效率超过90%;

  3)搭建了显微镜三维光场测试平台,解决了超表面成像面临的中间场成像测试难题;研究获得了精度20nm非规则纳米结构和大矢高32台阶微纳结构制备工艺;完成了平面衍射透镜宽波段成像实验,在可见光范围内获得衍射像质,验证了宽带消色差原理。

微纳结构哪家好

本文网址:http://www.micro-graph.com.cn/news/445.html

关键词:微纳结构热压印,微纳结构器件研发,微纳结构哪家好

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