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什么是纳米材料?什么是卷对卷工艺?什么纳米压印光刻?

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什么是纳米材料?什么是卷对卷工艺?什么纳米压印光刻?

发布日期:2017-12-14 作者: 点击:

纳米材料

"纳米材料" 是一个术语, 包括所有纳米材料, 包括工程纳米粒子、附带纳米粒子和自然界中存在的纳米物体。纳米为长度单位,1米=10的9次方纳米。纳米材料以生物材料或人类活动的副产品的形式存在于自然界中。例如, 血红蛋白直径为5.5 纳米, 生物离子通道可以小到纳米的几十分之二。纳米材料, 如火灾产生的烟雾和海上喷雾, 存在于我们周围的空气中。人造纳米材料副产品包括汽车尾气和焊接烟雾。科学家们已经复制了包括荷花在内的几种物品的纳米结构, 以创造用来制造防污渍服装和蜘蛛丝的防水表面生物。

纳米压印光刻工艺

纳米压印光刻(Nanoimprint lithography)是将结构复杂纳米结构图案“压印”或“印刷”到基底表面上的过程。具有表面浮雕图案的硬模具(掩模)压印抗蚀剂层。加热和加压力,然后将模具撤销,抗蚀剂上留下完整的纳米图案。

优点:清洁,掩模可再利用,压印均匀,无缺陷。这过程简单,使用简单的机器在各种基板材料上印制3D图案。

缺点:用户正确覆盖掩模容易出现错误,以及模板上易出现缺陷和碎片。此外,分辨率越高,生产吞吐量越慢。

卷对卷加工工艺

卷对卷加工工艺(Roll-to-roll processing (R2R))是一种在一卷很薄塑料或金属上大量制备纳米级电子器件的工艺。该过程类似于纳米压印光刻,但是辊子允许在更大的基板上印制图案,速度更快。

卷对卷

优点:设备便宜,较低的基板成本,处理过程,高产量,减少洁净室使用。它具有高量产,并且能够展示100nm分辨率,能够自动调准。

缺点:可用的设备有限,缺陷恢复方面很具挑战。

微纳结构



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关键词:纳米材料,纳米压印,纳米压印光刻

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