纳米材料

"纳米材料" 是一个术语, 包括所有纳米材料, 包括工程纳米粒子、附带纳米粒子和自然界中存在的纳米物体。纳米为长度单位，1米=10的9次方纳米。纳米材料以生物材料或人类活动的副产品的形式存在于自然界中。例如, 血红蛋白直径为5.5 纳米, 生物离子通道可以小到纳米的几十分之二。纳米材料, 如火灾产生的烟雾和海上喷雾, 存在于我们周围的空气中。人造纳米材料副产品包括汽车尾气和焊接烟雾。科学家们已经复制了包括荷花在内的几种物品的纳米结构, 以创造用来制造防污渍服装和蜘蛛丝的防水表面生物。

纳米压印光刻工艺

纳米压印光刻（Nanoimprint lithography）是将结构复杂纳米结构图案“压印”或“印刷”到基底表面上的过程。具有表面浮雕图案的硬模具（掩模）压印抗蚀剂层。加热和加压力，然后将模具撤销，抗蚀剂上留下完整的纳米图案。

优点：清洁，掩模可再利用，压印均匀，无缺陷。这过程简单，使用简单的机器在各种基板材料上印制3D图案。

缺点：用户正确覆盖掩模容易出现错误，以及模板上易出现缺陷和碎片。此外，分辨率越高，生产吞吐量越慢。

卷对卷加工工艺

卷对卷加工工艺（Roll-to-roll processing (R2R)）是一种在一卷很薄塑料或金属上大量制备纳米级电子器件的工艺。该过程类似于纳米压印光刻，但是辊子允许在更大的基板上印制图案，速度更快。

优点：设备便宜，较低的基板成本，处理过程，高产量，减少洁净室使用。它具有高量产，并且能够展示100nm分辨率，能够自动调准。

缺点：可用的设备有限，缺陷恢复方面很具挑战。