纳米压印中的紫外固化压印是什么？

紫外固化压印(UV-curable Nanoimprint Lithograhpy)则是目前综合优势好的压印技 术，它不需要高温、高压条件，加工精度高、加工效率高、对准性好。紫外压印新的一个改 进技术是步进-闪光压印[8]，它可以在工艺和工具成本明显降低的情况下，在工具寿命、模具 寿命、模具成本、工艺良率、产量和尺寸重现精度等方面达到和光学光刻一样甚至很好。紫外 固化压印技术将是纳米压印技术的一个重要的发展方向。 

它的工艺流程和热压印基本相同[9]，如图 2 所示：（1）模板制备：通过电子束曝光或聚 焦离子束等微电子工艺制作出一个具有纳米图形结构的模板；（2）涂敷光刻胶：在基片(硅、 石英玻璃等) 表面涂敷对紫外线过敏的压印光刻胶（如 SU-8 等）（3）压膜：加热光刻胶至玻璃化温度以上，然后恒温加压，使流动的聚合物填充模具中的空腔；（4）曝光：通过紫外线曝 光固化压印光刻胶；（5）脱模；（6）刻蚀：将图形转移至基片表面,在基片上形成所需的 纳米图形结构。

它与热压印大的区别是压印光刻胶需要使用对紫外线敏感的材料 ,而且压印的模板或 衬底中至少有一种是透明的。 紫外固化压印技术通常采用的光刻胶体系之一是环氧树脂体系，它是阳离子聚合，不受 空气中氧的干扰，收缩率较小，所以它还是通用型的紫外纳米压印胶。SU-8 就是环氧树脂体 系中的一种。它是一种化学放大负胶，分子式中含有 8 个环氧环，具有良好的光敏性，对紫外 光吸收极少，且具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性，所以被用作压印光刻胶材料 [10]。 步进-闪光压印是在整体式紫外固化压印的工艺基础上发展起来的，二者的基本工作原理 基本相同，区别仅在于：步进-闪光压印采用的是小模板，而整体式紫外固化压印的模板大小 对应于基片的大小，一次性压印成型步进-闪光压印通常采用石英玻璃做模板。