微纳结构根据空间维度、尺寸范围及功能特性，微纳结构可形成多维度分类体系，不同类型结构在性能与应用场景上各有侧重。

（一）微纳结构按空间维度分类

该分类是微纳结构最核心的分类方式，涵盖从零维到多维的完整结构体系，其中零维、一维结构以纳米尺度为主，二维及以上结构多涉及微米尺度，且可形成跨尺度复合结构。

零维结构：指三维尺寸均处于纳米尺度的结构，典型代表包括纳米粒子、量子点、纳米颗粒晶体等。这类结构具有极高的比表面积和显著的量子尺寸效应，在催化、光电探测等领域表现突出。

一维结构：仅单一维度处于纳米尺度，其余维度为宏观或微米级，常见类型有纳米线、纳米管、纳米棒、纳米锥等。其在导电、导热及力学性能上优势显著，是纳米电子器件的核心构建单元。

二维结构：以薄膜、微悬臂梁、双端固支梁、梳齿结构、音叉结构为代表，多为微米尺度结构，具有优异的表面特性与力学响应能力，广泛应用于传感、驱动器件中。

三维结构：涵盖微质量块、微腔体、微通道、微流体结构等，可实现复杂的空间功能集成，是微流控芯片、微泵等器件的核心组成部分。

多维结构：通过多维度结构组合实现复合功能，如微镊、声镊、光镊、微热板、微纳喷口、微阀、微镜等，集成度高、功能多样，是高端微纳器件的发展方向。