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模具缺陷与寿命:纳米级模具易受污染或磨损,影响图案保真度,需开发抗腐蚀材料(如类金刚石涂层)和原位检测技术。
气泡与填充不均匀:压印过程中胶层可能残留气泡,或边缘区域填充不足,需优化压力分布和胶层厚度控制。
多步套刻精度:复杂器件需多次压印套刻,累计误差可能超过允许范围,需高精度对准系统(如激光干涉测量)。