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模具制备：利用电子束光刻等技术制作具有纳米级图案的模具（通常为石英、硅或聚合物材质）。
压印过程：将模具压在涂有光刻胶（或聚合物薄膜）的基板上，使胶层发生塑性变形或化学反应（如紫外固化），复制模具图案。
脱模与图形转移：移除模具后，通过刻蚀或剥离工艺将图案转移到基板材料（如硅、金属）上。
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