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质量检测是保障光刻效果的关键，需采用多种检测手段全面把控图形质量：
尺寸检测：使用扫描电子显微镜（SEM）或原子力显微镜（AFM）测量图形线宽、间距，确保符合设计要求，偏差控制在允许范围内。
缺陷检测：采用光学缺陷检测设备，检查胶膜表面有无针孔、划痕、颗粒，图形有无倒塌、残留、边缘模糊等缺陷，缺陷密度需控制在每平方厘米≤0.1个。
附着力测试：通过胶带剥离试验或划格试验检测光刻胶与衬底的附着力，确保胶带剥离后胶膜无脱落，划格区域无起皮现象。
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